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Buse de quartz de forage de précision de haute pureté pour la microélectronique des semi-conducteurs et PV
| Matériel | Quartz de haute pureté | Diamètre extérieur | Φ10mm |
|---|---|---|---|
| Diamètre du trou intérieur | Φ0.5mm | Durée totale | 2mm |
| Plage de température | 200 ℃ ~ 1100 ℃ | ||
| Mettre en évidence | Buse en quartz de haute pureté,Buse en quartz de précision pour le perçage,Buse en quartz pour semi-conducteurs |
||
Nom du produit : Buse de précision en quartz de haute pureté
Dimension : Diamètre extérieur Φ10mm * Diamètre du trou intérieur Φ0.5mm * Longueur totale 2mm
Cette buse est traitée d'un seul bloc à partir de quartz de haute pureté avec un perçage de précision. Elle présente une résistance aux hautes températures, une résistance aux acides et alcalis forts, une absence de précipitation d'ions métalliques, une paroi intérieure lisse anti-colmatage et une haute résistance à l'usure. Largement utilisée dans le nettoyage des plaquettes, l'atomisation en laboratoire, la pulvérisation de gaz pour la chimie fine, le revêtement de matériaux de nouvelle énergie, l'atomisation micro gaz-liquide environnementale et d'autres conditions de travail. Les scénarios détaillés sont les suivants :
Microélectronique des semi-conducteurs et du PV
Pulvérisation et nettoyage de plaquettes avec atomisation de liquide chimique de haute pureté, adaptée à l'acide fluorhydrique et aux solutions de nettoyage par gravure de haute pureté. Le quartz ne réagit pas avec les liquides corrosifs, n'entraîne aucune contamination par les métaux lourds ni de piqûres sur la surface de la plaquette, garantissant ainsi le rendement des puces. Distribution précise de gaz porteurs électroniques de haute pureté : Buse de micro-distribution et de purge pour gaz inertes tels que l'azote et l'argon. Le minuscule alésage délivre un flux d'air fin et uniforme pour la purge de la chambre et la livraison homogène des précurseurs.
Chimie de laboratoire et expériences de micro-atomisation
Atomisation de réactifs et éjection d'échantillons gazeux : Réaction d'atomisation de réactifs acides-basiques traces et dérivation de gaz porteurs pour la chromatographie en phase gazeuse. Le petit alésage produit une fine brume uniforme pour améliorer l'efficacité du contact gaz-liquide pour les tests de catalyse, d'absorption et de micro-détection. Purge d'atmosphère à haute température et dépoussiérage d'échantillons : Purge par gaz inerte adaptée aux fours tubulaires et aux chambres de réaction, résiste de manière stable à 200~1100℃ sans se fissurer sous choc thermique.
Nouveaux matériaux pour batteries au lithium et chimie fine
Synthèse par atomisation de matières premières de haute pureté : Buse d'atomisation pour précurseurs de batteries au lithium et solutions de sels chimiques de très haute pureté. Résiste au rinçage prolongé par HF et alcalis concentrés, la paroi intérieure lisse empêche le colmatage par cristaux pour une atomisation stable et continue. Pulvérisation tampon pour processus fortement corrosifs : Tête de pulvérisation spéciale pour les lignes de production de décapage et de lavage alcalin. Remplace les buses métalliques et en verre borosilicaté sans rouille ni lixiviation d'ions pour prolonger la durée de vie.
Détection environnementale et atomisation spéciale à haute température
Atomisation et absorption pour l'échantillonnage de gaz résiduels traces : Composant d'atomisation de support pour les tests d'échappement de pollution. Décompose le liquide d'absorption en fine brume pour capturer complètement les polluants traces et améliorer la précision de la détection. Pulvérisation continue à haute température : Convient aux processus de gazéification et de pulvérisation à chaud à haute température. Stable sur une large plage de températures, résistant à l'usure contre le rinçage à haute fréquence prolongé avec une taille d'alésage inchangée.
Avantages clés (par rapport aux buses métalliques et aux buses en verre borosilicaté)Excellente résistance à la corrosion : Résiste au rinçage prolongé par l'acide fluorhydrique, les acides forts concentrés et les alcalis. Les buses métalliques ont tendance à rouiller tandis que le verre borosilicaté échoue dans un environnement HF.
Large plage de températures élevées : Fonctionnement continu et stable à 200–1100℃, résistance exceptionnelle aux chocs thermiques contre les alternances froid-chaud soudaines sans se fissurer.
Lixiviation d'impuretés ultra-faible : Quartz de haute pureté intégral sans dissolution de métaux lourds, exempt de contamination pour les plaquettes, les réactifs de haute pureté et les sources de gaz électroniques.
Paroi intérieure lisse anti-colmatage : L'alésage poli avec précision empêche l'adhérence des cristaux et des particules pour réduire les temps d'arrêt de maintenance.
Dureté élevée et résistance à l'érosion : La dureté élevée selon Mohs évite l'élargissement de l'alésage causé par le rinçage prolongé à haute vitesse de liquide/gaz, maintenant une précision dimensionnelle stable.
Alésage de micro-flux précis : Le trou minuscule de précision de 0,5 mm délivre un flux de liquide/gaz stable et uniforme pour une atomisation et un contrôle de flux micro précis.

