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Plaque de verre de quartz de calibration d'obturateur épaissie de 9 pouces haute température
| Taille | 9 pouces (correspondant à la dimension standard de la plaquette) | Épaisseur | Conception épaissie personnalisée |
|---|---|---|---|
| Matériau | Silice fondue à haute transmittance/verre borosilicaté sans alcali (en option) | Finition de surface | Polissage optique ultra-précis double face |
| Planéité et parallélisme | Qualité de référence optique | Traitement des bords | Chanfreiné avec précision, sans écaillage |
| Mettre en évidence | Plaque de verre de quartz épaissie haute température,Plaque de verre de quartz de 9 pouces,Feuille de verre de quartz de calibration d'obturateur |
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La plaque de verre de calibration d'obturateur épaissie de 9 pouces est un substrat de référence optique de précision conçu pour l'inspection des dimensions, de l'apparence et de la planéité des obturateurs de semi-conducteurs. Fabriquée à partir de silice fondue à haute transmission ou de verre borosilicaté sans alcali, cette plaque de calibration correspond à la dimension standard de l'obturateur de 9 pouces tout en offrant une structure épaissie personnalisée qui résiste à la flexion et à la déformation lors de cycles d'inspection répétés. Les surfaces polies ultra-précises des deux côtés offrent une planéité et un parallélisme de qualité optique, fournissant une base géométrique stable pour les systèmes d'inspection optique automatisés. En tant que référence de calibration dédiée, la plaque garantit que les données de mesure restent cohérentes et répétables sur de longues séries de production, ce qui en fait un outil essentiel pour la fabrication d'obturateurs, l'alignement de lithographie et les applications de mesure d'images optiques.
Spécification| Paramètre | Spécification |
|---|---|
| Taille | 9 pouces, correspondant à la dimension standard de l'obturateur |
| Épaisseur | Conception épaissie personnalisée |
| Matériau | Silice fondue à haute transmission / verre borosilicaté sans alcali (en option) |
| Finition de surface | Polissage optique ultra-précis des deux côtés |
| Planéité et parallélisme | Qualité de référence optique |
| Traitement des bords | Biseautage de précision, sans éclats |
| Application | Inspection des dimensions, de l'apparence et de la planéité des obturateurs |
- Structure épaissie pour la rigidité : La plaque renforcée évite la déformation et la déformation pendant l'inspection, fournissant des données de calibration stables et répétables.
- Polissage optique ultra-précis des deux côtés : Les surfaces sont exemptes de rayures, de piqûres, de bulles et de pierres, avec une planéité et un parallélisme de qualité optique.
- Haute transmission uniforme de l'UV à la lumière visible : Le substrat de haute pureté minimise les interférences de lumière parasite et est entièrement compatible avec les équipements d'inspection optique automatique AOI.
- Faible coefficient de dilatation thermique : La déformation minimale sous le changement de température maintient la géométrie de référence stable, et le matériau résiste aux solutions de nettoyage acides et alcalines.
- Bords biseautés de précision : Les bords sans éclats protègent les obturateurs et les lentilles d'inspection des rayures lors de la manipulation et du chargement.
La plaque de verre de calibration d'obturateur épaissie de 9 pouces sert de référence optique polyvalente dans les environnements de fabrication et d'inspection de semi-conducteurs. Elle est largement utilisée pour la calibration des dimensions des obturateurs en silicium de 9 pouces, fournissant une norme géométrique fiable qui vérifie la précision des outils de mesure. Dans l'inspection de la planéité des obturateurs, la surface de qualité optique agit comme une ligne de base de référence fiable pour comparer l'uniformité de la surface et détecter les déviations. La plaque fonctionne également comme un support standard pour les instruments de mesure d'images optiques, soutenant un positionnement cohérent lors de l'analyse dimensionnelle. Dans les équipements de lithographie, elle fonctionne comme une plaque de calibration d'alignement qui aide à maintenir un enregistrement précis des motifs. De plus, la plaque est adoptée comme base de fixation pour l'inspection des défauts de surface des obturateurs, offrant une plateforme plane, stable et exempte de contamination pour les systèmes de détection de défauts automatisés.
Avantages- Plaque épaissie anti-flexion : La structure renforcée empêche le décalage de référence pendant l'inspection de masse à long terme, en maintenant la fiabilité des résultats de calibration d'un quart à l'autre.
- Matériau de haute pureté sans précipitation : Le substrat propre ne libère aucun contaminant, protégeant les obturateurs de la pollution lors de l'inspection par contact.
- Personnalisation complète disponible : L'épaisseur, le revêtement optique, le marquage de l'échelle d'alignement, le rainurage et le perçage peuvent tous être adaptés aux exigences du client.
- Haute cohérence pièce par pièce : Un contrôle de fabrication strict garantit que les plaques sont interchangeables sur plusieurs machines d'inspection avec des performances identiques.

