-
Verre de quartz optique
-
Usinage du verre de quartz
-
Tube de verre de quartz
-
Tube capillaire en quartz
-
Tube en verre borosilicaté
-
Tige de verre de quartz
-
Pièces de rechange laser
-
Cible de pulvérisation de dioxyde de silicium
-
Appareil à quartz
-
Glace de quartz
-
Pièces en verre personnalisées
-
Pièces en céramique personnalisées
-
Équipement industriel optique
-
Couverture en verre mobile faisant la machine
-
Instrument de mesure optique
-
Cristal optique
Planéité ultra élevée de feuille de verre de quartz de dimension standard pour la gaufrette de 9 pouces
| Matériel | verre à quartz | Taille de gaufre compatible | 9-inch |
|---|---|---|---|
| Platitude | ultra haute précision | Tolérance | Tolérance dimensionnelle serrée |
| Finition de surface | Poli avec précision | Niveau de stress | Faible contrainte interne |
| Application | Étalonnage de plaquettes de semi-conducteurs, lithographie, sondeur, équipement optique | ||
| Mettre en évidence | Plaque de verre au quartz de dimension standard,plaque de verre au quartz à ultra-haute planéité,plaque de verre au quartz à wafer de 9 pouces |
||
Plaque de verre de quartz de calibrage de gaufre de 9 pouces avec une planéité ultra-haute
Cette feuille de verre de quartz de 9 pouces est un standard de calibrage de haute précision pour les équipements semi-conducteurs.il correspond aux spécifications de plaquette standard de 9 pouces pour la vérification quotidienne des équipements en lithographie, sondeur, inspection AOI et applications de métrologie optique.
Paramètres du produit
| Paramètre | Spécification |
|---|---|
| Matériel | Vitres au quartz |
| Taille de gaufre compatible | 9 pouces |
| Plateur | Une précision extrêmement élevée |
| Tolérance dimensionnelle | Tolérance étroite |
| Finition de surface | Polissage de précision |
| Propriété optique | Un stress uniforme et réduit |
| Stabilité thermique | Déformation thermique minimale |
| Résistance chimique | Résistant au nettoyage chimique régulier |
| Stabilité dimensionnelle | Stable pour une utilisation répétée à long terme |
Principales caractéristiques
- Plateur ultra-haute¢ Surface polie de précision avec une tolérance de planéité extrêmement étroite, assurant des résultats d'étalonnage fiables pour les équipements à semi-conducteurs.
- Propriété optique uniforme¢ Transmission optique cohérente sur toute la surface de la plaque, idéale pour l'AOI et l'étalonnage du système d'inspection basé sur la vision.
- Faible niveau de stress interne- une déformation thermique minimale et une déformation induite par des contraintes, maintenant la stabilité dimensionnelle dans des conditions environnementales variables.
- Résistance au nettoyage chimiqueRésistant aux solvants de nettoyage standard des semi-conducteurs, préservant la qualité de la surface après des cycles de nettoyage répétés.
- Stabilité à long terme¢ Norme d'étalonnage spécifique conçue pour une utilisation quotidienne répétée sans dégradation de la précision au fil du temps.
Applications
1Inspection des plaquettes de semi-conducteurs
Plaque de référence principale pour l'inspection de la dimension, de la planéité et de la déformation des plaquettes de 9 pouces.l'unification de la précision de détection sur les lignes de production.
2. Lithographie et processus d'emballage
L'alignement est une référence pour les machines de lithographie et les liants à matrices.
3Équipement d'essai du sondeur
Plaque de référence pour l'étalonnage des coordonnées de la station de sonde et la vérification de la planéité de la plateforme, garantissant une précision d'essai électrique précise de la plaque dans la fabrication de semi-conducteurs.
4Étalonnage optique en laboratoire
Verre d'étalonnage standard pour les machines de mesure de la vision et les testeurs de contours, utilisé pour la vérification de la précision des instruments de routine dans les laboratoires de métrologie.
Avantages par rapport au verre ordinaire et à la feuille de quartz ordinaire
Contrairement aux plaques de verre ordinaires et aux feuilles de quartz ordinaires, cette feuille de verre de quartz de calibrage est dotée de surfaces polies de précision avec une tolérance de planéité strictement contrôlée.Il présente une déformation thermique minimale et maintient une précision stable après nettoyage chimique répété, pièce d'étalonnage standard de l'industrie spécialement conçue pour les environnements de production de semi-conducteurs.

