5 trous 127x127x3mm Plaque de verre au quartz pour l' étalonnage de l' équipement de gaufre à semi-conducteurs de 5 pouces

Plaque de verre de quartz à 5 trous 127x127x3mm pour l'étalonnage des plaquettes de 5 pouces

Cette plaque d'étalonnage en verre de quartz à 5 trous est un outil d'étalonnage d'équipement semi-conducteur de haute précision. Avec des dimensions de 127 x 127 x 3 mm et cinq trous de positionnement usinés avec précision, il correspond aux spécifications standard des plaquettes de 5 pouces pour la vérification et l'étalonnage quotidiens des équipements dans les applications de sonde, d'AOI, de liaison de puces et de métrologie optique.

Paramètres du produit

Principales fonctionnalités

• 5 trous de positionnement précis– Cinq trous de positionnement avec une tolérance étroite pour l’étalonnage des coordonnées de l’équipement, remplaçant la vérification quotidienne des plaquettes de silicium.
• Ultra-haute planéité– Surface polie de précision double face avec déformation thermique minimale pour une précision d’étalonnage constante.
• Résistance au nettoyage chimique– Résistant aux solvants de nettoyage standard pour semi-conducteurs, conservant la stabilité dimensionnelle après des cycles de nettoyage répétés.
• Uniformité optique– Le verre de quartz à faible contrainte assure une transmission optique uniforme pour les systèmes d’inspection AOI et par vision.
• Stabilité à long terme– Précision stable lors d'une utilisation répétée à long terme, conçu comme un étalon d'étalonnage dédié à l'industrie des semi-conducteurs.

Applications

1. Inspection des plaquettes de semi-conducteurs

Plaque d'étalonnage principale pour la planéité et la vérification des dimensions des plaquettes de 5 pouces. Cinq trous de positionnement permettent un étalonnage quotidien des coordonnées de l'équipement, remplaçant ainsi les routines de contrôle standard des plaquettes de silicium. Plaque de référence d'inspection optique AOI pour l'étalonnage de la mise au point de l'objectif et de la précision de la reconnaissance.

2. Processus d'emballage et de sondage

Plaque de référence de positionnement de la station Prober pour la vérification de la position de la sonde et le contrôle de la planéité de la plate-forme via la disposition à cinq trous. Étalonnage de l’alignement de la machine de collage et de placement, corrigeant l’écart de positionnement des fixations mécaniques.

3. Laboratoire de Métrologie Optique

Plaque d'étalonnage standard pour machines de mesure par vision et testeurs de contour, utilisée pour la vérification régulière de la précision des mesures des équipements.

4. Étalonnage automatisé des fixations de la ligne de production

Étalon d'étalonnage d'outillage d'équipement automatisé pour semi-conducteurs, conçu pour un nettoyage répété sans déformation dans les environnements de production.

Avantages par rapport au verre ordinaire

Contrairement aux plaques de verre ordinaires, cette plaque d'étalonnage en verre de quartz présente un polissage de précision double face avec une déformation de surface extrêmement faible. La coaxialité des cinq trous et le diamètre de l'alésage sont étroitement contrôlés dans le cadre de tolérances strictes. Résistant aux produits chimiques de nettoyage standard pour semi-conducteurs, il offre une précision stable lors d'une utilisation répétée à long terme, ce qui en fait la pièce d'étalonnage standard de l'industrie pour les applications de semi-conducteurs.